sifat senyawa SF6 salah satunya adalah

kemurnian pada Gas SF6 yang dijual dipasaran antara lain adalah :
 Carbon tetrafluoride ( CF4) 0,03%
 Oxygen + nitrogen ( air ) 0,03
 Water 15ppmM SF6 : 99,9%
 CO2 traces
 HF 0,3ppmM